36氪·2026-10-20 11:49· 14 天前精选AI 评分70超纯应材5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件量产超纯应材:5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产AI 导读超纯应材宣布其5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产。推荐理由原文报道了超纯应材在5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件的量产情况,读者可以了解行业进展。来源:36氪 · 36kr.com#行业动态#非AI/通用工具查看事件全部后续